自復(fù)疊式制冷機組是一種采用多元混合工質(zhì)、通過單壓縮機實現(xiàn)寬溫區(qū)制冷的特殊系統(tǒng)，在半導(dǎo)體、低溫實驗等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。
自復(fù)疊式制冷機組工作原理
混合工質(zhì)分凝：采用沸點差異顯著的混合制冷劑（如R23/R134a/R404A），通過冷凝蒸發(fā)器逐級分離高低沸點組分。
單壓縮多級制冷：
壓縮機排氣→冷凝器→一級氣液分離器→高沸點組分（如R134a）節(jié)流制冷（中溫段）。
低沸點組分（如R23）繼續(xù)進入二級回路→深冷蒸發(fā)器→最終復(fù)疊回壓縮機。
自復(fù)疊式制冷機組在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢
寬溫區(qū)覆蓋：單系統(tǒng)可實現(xiàn)-80℃~+150℃范圍（傳統(tǒng)復(fù)疊需多壓縮機）。
光刻特殊場景：
EUV光刻機的掩模版冷卻（需-50℃以下防熱變形）。
低溫光刻膠處理（如某些電子束光刻膠需-30℃存儲）。
節(jié)能性：比傳統(tǒng)復(fù)疊系統(tǒng)減少30%以上能耗（無中間溫度壓縮機）。
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